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臭氧應用在半導體行業中,CVD膜成型技術使用形成硅氧化膜,**膜的平面性。利用臭氧溶于水的氧化性和·OH的雙重作用,降低化學品消耗、處理成本以及提高清潔效率,在芯片制造過程中,臭氧主要用于半導體晶片、LCD(液晶顯示)用玻璃基板、精密光學零件基板,消···
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